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潮科技 大面阵SPAD阵列集成微透镜阵列填充因子改善明显

  

  据麦姆斯咨询报道,基于CMOS制造工艺可实现大面阵、单片式单光子雪崩光电二极管(SPAD)阵列,并受到如3D成像、荧光寿命成像等各种应用的青睐,但常常受到低填充因子(fill factor,指感光区域面积与像元面积的比值)的困扰。SPAD填充因子的数值通常小于5%,当然如果牺牲一些功能,如删除计时电路设计,SPAD阵列填充因子也可以高达60%,

  将大面阵SPAD阵列与微透镜阵列进行集成设计,可以大大提高其探测效率。微透镜阵列利用折射原理或者衍射原。